恭獲！機械系機電整合碩士班 林柏辰同學 參加第16屆上銀機械碩士論文獎-科技大學論文 榮獲特別獎！

 論文題目：基於雷射干涉儀回授之精密龍門平台同動控制

高精度龍門平台控制技術發展至今已有數十年歷史，其應用場合包含精密測量設備、曝光機、工作母機等，隨著製造工藝的提升，工業設備的控制精度也從釐米、微米一路進步到奈米等級，為了提升設備的精度，各式各樣的控制系統不停地在發展，然而在控制系統的設計中，回授元件的選擇也是非常重要的一環，回授元件是否真實回饋受控體的物理變量，將直接影響控制器的控制性能，現今的高精度平台系統大多使用光學尺作為位置回授源，然而光學尺作為回授元件時，有其物理上的限制，容易受到量測誤差而無法真實反應運動設備之真實位置變化。

       本文探討龍門式雙軸平台使用雷射干涉儀訊號作為位置回授時，可能產生的誤差來源，並抬出最小交互力模型估測龍門平台運動時的最佳姿態，為了使平台在運動過程中維持最佳姿態，結合模糊類神經網路同動控制策略，減少同動誤差的產生，此外模糊類神經網路的學習機制，是透過監督式梯度遞減法使定義的誤差函數最小化，提升系統強健性，最後以低速及高速的運動命令進行實驗，從實驗的結果證實本文提出的控制架構具有可行性。

 指導教授

 陳金聖 教授

 專長領域：

 系統控制與診斷、機器視覺、即時系統設計、嵌入式系統應用、機電整合

 指導教授

 吳明川 教授

 專長領域：

 機器視覺與影像處理、 自動化光學檢測、 振動平衡自動化檢測系統、 電腦輔助工程分析